Ifan kuum müük messingist keermestatud liitmikke

Messingliidide puhtuskontroll pooljuhtide spetsiaalsetes gaasisüsteemides

Sissejuhatus pooljuhtide spetsiaalsetesse gaasisüsteemidesse

Pooljuhtide tootmisprotsessid nõuavad ülikergelt kontrollitud keskkonda.
Spetsiaalsete gaasi kohaletoimetamise süsteemid mängivad kriitilist rolli söövitamise, ladestamise, dopingu ja puhastamise etappides.
Gaasid nagu silaan, ammoniaak, vesinikkloriid ja lämmastiku trifluoriid vajavad kõrge puhtusastmega transporditeesid.
Messingist liitmikke, ehkki mitte alati esimest valikut, rakendatakse mõnikord sekundaarliinides või tugisüsteemides.
SäilitamineKeemiline puhtus ja struktuuri terviklikkusmessingist liitmikud on saastumise vältimiseks ülioluline.

Materiaalse puhtuse tähtsus pooljuhtrakendustes

Pooljuhid on molekulaartaseme lisandite suhtes äärmiselt tundlikud.
Isegi osade (PPB) osade saastumine torustikust või liitmikest võib põhjustada saagikuse kadu või seadme rikkeid.
Gaasiliinides toimuvad väljavool, korrosioon või pinnareaktsioonid tuleb tihedalt kontrollida.
See muudab materjali valimise ja puhtuse haldamise keskseks gaasisüsteemi kujundamisele.
Korraliku viimistlus- ja kvaliteedikontrolliga messingist võib vastata neile standarditele mittekriitilistes gaasiliinides.

Messingist materjali koostis ja mured

Tavaline messing on vase ja tsingi sulam, mis sisaldab mõnikord pli või tina.
Lisandid nagu väävel, fosfor või jääkõlid võivad puhtuse taset kahjustada.
Kõrge juhtmega messingist välditakse rangelt puhastatud või pooljuhtide rakendustes.
AinultMadala pikkusega, dezintifikatsiooniresistent (DZR)Sellise keskkonna jaoks tuleks messingist kaaluda.
Tootjad peavad pakkumamateriaalsertifikaadidkinnitades vastavust Semi, ASTM -i või ROHS -i standarditele.

Pinna viimistlus- ja elektropoliiditamisnõuded

Messingist liitmike sisepinna viimistlus mõjutab suuresti gaasisüsteemi puhtust.
Kargad või poorsed pinnad lõksu niiskuse, süsivesinikud ja tahked osakesed, põhjustades pikaajalist saastumist.
Selle vastu võitlemiseks on liitmikud sagelielektropoliidnesileda, passiveeritud sisepinna saavutamiseks.
Sihtpinna karedus (RA) on tavaliselt väiksem kui0.2 µmgaasi jaotusliinide jaoks.
Postitamise järel, liitmikud läbivad puhastamiseülipuhast lahustidmillele järgneb vaakumi kuivatamine ja lämmastiku puhastamine.

Osakeste juhtimine ja puhtaruumi pakendid

Pooljuhisüsteemide messingist liitmikud peavad vastama rangeleosakeste loendamise spetsifikatsioonid.
Kõik lahtised osakesed või metallhelbed võivad olla gaasitundlike vahvlite jaoks katastroofilised.
Selle lahendamiseks läbivad liitmikud suure puhkeolekugaultrahelipuhastusDi vee ja klassi 100 puhaste ruumis olevate standardite kasutamine.
Pärast puhastamist on liitmikudtopeltkottPuhas asuva klassi pakendis, et vältida taastumist.
Sildid hõlmavad sageli partii jälgitavust, partiide puhastamise teavet ja niiskuse juhtimise indikaatoreid.

Passiivsus ja katted keemilise stabiilsuse tagamiseks

Kuna messing on reaktiivsem kui roostevabast terasest, on pinna passiivne ülioluline.
Passiveerimismeetodid hõlmavad kontrollitud oksüdatsiooni, kroomivabu katteid võinikliplaatimine.
Nikkel- või elektroonil nikkelkatted on tõkkekihina tsingi leostumise või oksüdeerimise vältimiseks.
See kate suurendab ka keemilist ühilduvust gaaside nagu HF või CLF₃.
Regulaarsed katte paksused ja adhesiooni testimine tagavad survestatud süsteemides vastupidavuse.

Ülevaatus, sertifitseerimine ja jälgitavus

Suure puhketuba messingist liitmikud peavad möödumamitmetasandiline kontrollEnne integreerimist gaasiliinidesse.
Testimine sisaldab:

Heeliumi lekke testimine (tavaliselt<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)

Gaasi jääkianalüüs (RGA)

Mikrotasandi osakeste valamise testid

XRF või ICP-MS materjali kontrollimiseks
Iga liitmine peaks olema täielikultjälgitav partii numbri järgi, koos sellega seotudVastavussertifikaadid (COC).
Mõned rajatised nõuavad kolmandate osapoolte auditeid või ISO 14644 sertifitseerimisdokumente.

Rakenduse piirid ja alternatiivid

Kuigi messing suudab vastata puhtuse kriteeriumidele, on selle kasutaminepiiratud mittekriitiliste radadegaSemiconductor Fabs.
Ülikõrge puhtuse (UHP) gaasiliinide jaoks,316L roostevabast terasest VCR või orbitaalkeevisõmblustegaeelistatakse.
Messingist liitmikke võib rakendada heitgaasisüsteemides, puhastusliinides võiTöötlege jahutusveesüsteeme.
Õige valitud ja asjakohaselt töödeldud messingist pakub kulutõhusa ja stabiilse lahenduse.
Edasised edusammud katte- ja puhastustehnoloogias võivad laiendada oma kasulikkust pooljuhtide rakendustes.

Järeldus

Pooljuhtide spetsiaalsete gaasisüsteemide puhtuse kontroll messingist liitmikes on nii keeruline kui ka hädavajalik.
Alates materjali valimisest kuni pinna viimistluse ja pakendamiseni mõjutab iga samm gaasi kvaliteeti.
Kuigi messing ei ole ideaalne kõrge puhtusastmega rakenduste jaoks, võivad täiustatud ravi ja kvaliteedikontroll muuta selle valitud tsoonides elujõuliseks.
Range ülevaatuse, passiivsuse ja sertifitseerimise kaudu saavad need liitmikud ohutult toetada järgmise põlvkonna kiibide tootmiskeskkonda.

Võtke ühendust IFAN -i
Telefon:+86 15088288323

E -post:sales24-ifan@ifangroup.com